相关文章

专业制造压力开关苏州联科给您科普压力传感器原理

来源网址:http://www.szlrhb.cn/

专业制造压力开关苏州联科给您科普压力传感器原理

专业制造压力开关苏州联科给您科普压力传感器原理压力传感器是工业实践、PME压力开关PMM压力开关仪器仪表控制中最为常用的一种传感器,并广泛应 用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、提供最好的产品航空航天、军工、 石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。苏州联科专业 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感 器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传 感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有 极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 1、压阻式压力传感器原理与应用: 压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传 感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物 理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。 压力传感器压阻效应 当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个 能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量, 从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效 应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计,前者电阻随压力的变化 主要取决于电阻率的变化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应 变),压力开关而且前者的灵敏度比后者大 50~100 倍。 压阻式压力传感器结构 压阻式压力传感器结构 压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻 芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感 器又称为固态压力传感器, 它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受 外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的 高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直 径与厚度比约为 20~60。在圆形硅膜片(N 型)定域扩散 4 条 P 杂质电阻条,并接 成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。 硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条 ,两条受 拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

返回